スマホ液晶の電子回路に使われる世界初の技術を開発
薄膜トランジスタの低温形成技術開発に成功
現在広く使われているPCやスマートフォンなどのフラットパネルには画素をコントロールする薄膜トランジスタが使われています。小さく、大きな電流を流すことができ、また低電圧で駆動できる高性能トランジスタができれば高精細高画質のディスプレイが実現できます。私は1985年日新電機、レーザ結晶化手法を用いてシリコン膜を多結晶化することで、ガラス基板上に高性能シリコン薄膜トランジスタを低温で形成することに成功しました。
世界最高性能のトランジスタを世に送り出す
その後も酸素プラズマ処理や高圧水蒸気熱処理技術開発に取り組み、2002年に移動度が単結晶シリコントランジスタ並みの800cm2/Vsと大きい高性能特性を実現することができました。そして今も、より低温より高性能のトランジスタ作製技術開発に取り組んでおり、電子機器の性能向上に貢献したいと思っています。
薄膜トランジスタと太陽電池の開発を進める鮫島教授
太陽光電池の発電効率を上げる
現在は薄膜トランジスタのみならず、太陽電池の高効率化にも取り組んでいます。電力発電技術は、火力、風力、水力、原子力、地熱、潮力等様々な技術的開発が進められています。太陽光から直接電力を取り出す太陽電池はクリーンで魅力的な発電技術です。太陽電池の効率を上げることによって発電コストの低減が期待できます。当研究室では多接合太陽電池、加熱水処理によるMIS型太陽電池、多接続型太陽電池等、いろいろなアイデアを試して高効率太陽電池を実現する努力を続けています。
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